Rakaat pertama
- Takbiratul ihram disertai berniat Solat Witir
- Membaca doa iftitah
- Membaca Al Fatihah
- Membaca surah pendek
- Ruku' dengan tuma'ninah
"سبحان ربي العظيم وبحمده" sebanyak 3 kali.
- I'tidal dengan tuma'ninah, lalu membaca:
ربنا لك اللحمد
Robbanaa lakal hamdu
- Sujud
سبحان ربي الأعلى وبحمده . Sebanyak 3 kali.
Subhaana robbiyal a'la wabihamdih
Artinya: "Maha suci tuhan yang maha tinggi serta memujilah aku kepadanya."
- Duduk diantara dua sujud